7月3日至5日，在上海的Zhangjiang科学厅完全开放了9 -9个Jiwei半导体会议。会议以“ Smart Chain Future·Future·Xin Innovation Infinite”为主题，开放了中国半座位生态系统生态系统的协调开发的新篇章。同时举行的“ Jiwei半导体展览”表明了全球半导体切割产品的可实现的创新和技术趋势。作为领先的国内综合解决方案，东方Jingyuan微型电子技术（北京）CO，LTD（因此，从因此称为“东方Jingyuan”）将最新信息带入了新一代的电子束测量和Matrix产品的发现，该产品显示了高级流程的发现。值得注意的是，新开发的高能电子束设备（HV-SEM）已经取得了重大开发，标志着东方Jingyuan已经完成了全面在Qiandao电子束发现设备的四个主要区域进行布局，并将继续结合国内轨道上的领先地位。与上一代SEPA-I525相比，新一代的电子束缺陷检测设备（EBI）SEPA-I635在东方Jingyuan下的SEPA-I635产品具有更广泛的应用方案，并且它们的发现功能和处理速度得到了显着提高。可以将全面的性能与相同类型的高级外国机器进行比较。在主要的电子光学系统中，Sepa-I635采用了新开发的超大电流前山林功能（微型室水平）和东方jingyuan的高电流成像技术（100-nanapere级别）。最大光束当前是通过幅度的跳跃来实现的，因此Sepa-I635可以检测高级存储Wafers中复杂结构中的电缺陷，并且通过生产线成功证明了发现能力。同时，GH对控制系统，电子检测器和高速DPU系统的图像数据处理和识别的全面升级，检测速度比上一代产品高三倍以上。在电子束缺陷的重新检查设备（DR-SEM）方面，东方冠军的高分辨率电子光学系统使用5通道电子成像技术（4个侧探测器+1个顶部检测器）使用5通道电子成像技术（最高检测器），这不仅可以显着改善刻板的效果，还可以使偶然的效果效应，并且构成的效果很高，并且效应效果很高，并且构成了特征，并且构成了特征，并且是特征的效果，并且是特征的效果，并且是特征的效果，并且是特征的效果，并且是特征的效果。检测表面缺陷和地下晶圆。优化电子光学系统后，成像场能力的高深度得到了提高，可以满足结构比率高深度的需求；较大的视野（MM）成像能力满足斜面成像斜角评估。此外，SEPA-R655配备了DUV显微镜模块，该模块可以改善设备的无图案晶片检测能力和物质组件评估物质的自动组件。新的硬件平台支持新兴的复合化合物半导体检测，并且能够自适应地处理不同厚度的晶片。同时，通过自动改变硬件模块并优化软件算法过程，检测速度的高度是上一代产品的两倍以上。当然，这是基于JIWEI半导体会议的“第三次JIWEI半导体制造峰会”上SEPA-R655性能的全面改进，该产品获得了峰会授予的“工业连锁突破奖”，其产品实力是该行业认可的产品实力。密钥尺寸尺寸（CD-SEM）配备了新的SEPA-C505模型借助新的高速视频传递平台，可以满足增加生产能力的需求。该设备结合了一个新的自发电子光学系统（EOS），并在成像分辨率和测量重复时达到了双重崩溃。技术参数与12英寸CD-SEM国际主流产品相当。同时，新的软件系统设计与用户使用习惯更加一致，大大改善了用户友善，并支持不同类型的测量算法，这些算法可以满足高级流程的高阶测量需求。尤其要注意的是，东方jingyuan在本次会议上首次正式揭示了其新产品高能电子设备（HV-SEM）的研究和开发的开发。预计该设备将具有“透视”成像能力，可以穿透晶片的深度，并可以准确测量基本维度（HV CD），unifOrmity（CDU）和深度孔和沟渠等结构的精确度（IN-DIE SEM覆盖）毫不奇怪。技术涵盖了14nm及以下的3D-NAND，鼓和逻辑过程。它以超过40kev的登陆能量携带的EOS开发的EOS达到了国际高级类似设备的水平。随着HV-SEM设备的研究和开发的重要开发，东方晶体实现在测量和发现Qiandao电子束的四个主要领域中实现了全面的布局，并且矩阵产品的技术障碍和优势已经集中。作为中国最早的上篮之一，东方的吉尤恩将继续领导国内电子和发现行业的发展。在同时举行的“第三次吉威半导体制造峰会和工业连锁突破颁奖典礼上”，东方jingyuan Innovation Technology Institute院长Sun Weiqiang博士，也是Deliv关于“高级过程的电子光束测量和检测技术”的主题演讲，该演讲全面，系统地解释了电子束测量和检测技术的演化趋势，其在高级过程差异中的重要价值及其在半导体本地化过程中的战略意义。除了硬件设备外，东方Jingyuan还继续加深其生态技术布局，其独立的计算光刻软件软件（Pangen），严格的光刻仿真软件（Pangen SIM），软件管理管理（屈服）和其他产品压缩许多家庭差距。基于上述点点工具开发的合并收益优化平台（HPO）为从设计到制造业的芯片的各个方面提供了系统优化，并有效地促进了制造我国巡回赛的总体工业的高质量发展。从对电子束测量的检测到计算光刻软件软件，从点工具到系统解决方案，东方晶体的起源逐渐构建了改善产量的完整生态系统。将来，东方冠军将继续增加研发投资，加深基本技术的研究，促进中国半导体行业，以转向高端价值链，并向我国家的独立和受控发展注入强大的动力，在该国全球半导体的全球半导体中。